【作者】 杨献； 黄令仪； 熊险峰； 张红南；

【Author】 YANG Xian1,2, HUANG Ling,yi2, XIONG Xian,feng1, ZHANG Hong,nan1(1 Department Applied Physics, Hunan University, Changsha 410082, China)(2 Institute of Microelectronics, The Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China)

【机构】 湖南大学应用物理系； 中国科学院微电子研究所； 湖南大学应用物理系 湖南长沙410082 中国科学院微电子研究所； 北京100029； 湖南长沙410082； 湖南长沙410082；