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ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计

Orthogonal Optimum Design of the Technological Parameters for the Preparation of AZO Thin Films

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【Author】 Ge Chunqiao, Xue Yiyu, Guo Aiyun, Hu Xiaofeng, Tang Chao Postgraduate;School of Materials Science and Engineering, WUT, Wuhan 43 0 0 70 , China

【机构】武汉理工大学材料科学与工程学院；武汉理工大学材料科学与工程学院湖北武汉　430070；湖北武汉　430070；湖北武汉　430070；

【摘要】采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。更多还原

【Abstract】 An optimum study of technological parameters for the preparation of AZO thin films by sol-gel is carried out through orthogonal design. Optimum technological parameters are determined, which provide a practicable approach for industrial control of the preparation of AZO thin films.更多还原

【关键词】 AZO薄膜；溶胶-凝胶；正交设计；
【Key words】 AZO thin films； sol-gel； orthogonal design；

【文献出处】武汉理工大学学报(信息与管理工程版) ,Journal of Wuhan Automotive Polytechnic University , 编辑部邮箱 ,2004年05期

【分类号】O484.4
【被引频次】8
【下载频次】237

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