节点文献
纳米复合超硬薄膜的研究现状
Research Status and Development of Superhard Nanocomposite Films
【摘要】 自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.
【Abstract】 Superhard nanocomposite films are attracting more and more interests due to their excellent mechanical and chemical properties since S. Veprek et al. presented the concept in 1994. The concept, classification, superhard mechanisms, synthesis technologies and processes, properties, applications, and development of superhard nanocomposite films were reviewed in this paper.
【关键词】 超硬薄膜；
纳米复合结构；
CVD；
磁控溅射；
【Key words】 superhard films； nanocomposite structure； CVD； magnetron sputtering；
【Key words】 superhard films； nanocomposite structure； CVD； magnetron sputtering；
【基金】 国家自然科学基金(50082006);中华人民共和国教育部留学回国人员科研启动基金(04144(99));中国科学院上海硅酸盐研究所留学回国人员科研启动基金
- 【文献出处】 无机材料学报 ,Journal of Inorganic Materials , 编辑部邮箱 ,2004年01期
- 【分类号】O484
- 【被引频次】37
- 【下载频次】648