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用磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜

Transparent conducting ZnO films prepared on organic substrate by r.f. magnetron-sputtering.

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【作者】 王军华；

【Author】 WANG Jun-hua (Weifang University, Weifang 261061,China)

【机构】 潍坊学院 山东潍坊261061；

【摘要】 本文介绍了磁控溅射的原理以及磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜 的实验方法。

【Abstract】 The magnetron-sputtering principles and the experimental method to prepare transparent conducting ZnO films on organic substrate by r.f. magnetron-sputtering were introduced in the paper.

【关键词】 磁控溅射； 柔性衬底； ZnO；
【Key words】 r.f. magnetron-sputtering； organic substrate； ZnO；
【基金】 潍坊学院自然科学基金资助项目
  • 【文献出处】 潍坊学院学报 ,Journal of Weifang University , 编辑部邮箱 ,2004年06期
  • 【分类号】TB383
  • 【被引频次】8
  • 【下载频次】380
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