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激光在微细加工中的应用

The application of the laser used in minute machining

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【Author】 QIU Xun,GE Xiao-Ian(Suzhou Vocational University, Suzhou Jiangsu 215011,China; Jiangsu Science and Technology University, Zhenjiang Jiangsu 212013,China)

【机构】苏州职业大学；江苏理工大学江苏苏州215011；江苏镇江212013；

【摘要】本文叙述了准分子激光应用在微细机械加工中的先进技术以及研究的前景。更多还原

【Abstract】 This paper explores the advanced technology of the Excimer Lase applied in minute machining and the researching prospect.更多还原

【关键词】准分子；激光；准分子激光；精细加工；
【Key words】 excited dimer； laser； excimer laser； minute machining；

【文献出处】苏州市职业大学学报 ,Journal of Suzhou Vocational University , 编辑部邮箱 ,2004年03期

【分类号】TN249
【被引频次】1
【下载频次】347

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