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压电陶瓷微位移机械装置的研究
【摘要】 参考反射镜的位移标定,在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度.根据移相干涉的要求和压电陶瓷的特点,设计了推动参考反射镜作微位移的机械装置,通过实验测量出其微位移量表明,设计的装置使反射镜移相的非线性为1.73%。
【基金】 国防科工委国防军工计量“十五”计划重点项目(项目编号:60803134)
- 【文献出处】 机械设计与制造 ,Machinery Design & Manufacture , 编辑部邮箱 ,2004年02期
- 【分类号】TH703
- 【被引频次】7
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