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微机电系统(MEMS)技术及发展趋势
MEMS Technology and Developing Trend
【摘要】 主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
【Abstract】 This paper briefly discusses the basic characters,main machining technology and materials and developing trend on MEMS.
【关键词】 MEMS；
微机械加工；
微传感器；
微执行器；
【Key words】 MEMS； micro-mechanical machining； micro-sensor； micro-actuator；
【Key words】 MEMS； micro-mechanical machining； micro-sensor； micro-actuator；
- 【文献出处】 机械设计与研究 ,Machine Design and Research , 编辑部邮箱 ,2004年01期
- 【分类号】TH703.8
- 【被引频次】184
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