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飞秒激光诱导金属功能微结构的机理与应用

Mechanism and Applications of Femtosecond Laser Induced Microstructures in Metals

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【作者】 赵全忠邱建荣姜雄伟赵崇军朱从善

【Author】 ZHAO Quanzhong QIU Jianrong JIANG Xiongwei ZHAO Chongjun ZHU Congshan(Photon Craft Project Laboratory, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, The Chinese Academyof Sciences, Shanghai 201800)

【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室 上海201800上海201800上海201800

【摘要】 介绍了飞秒激光与金属相互作用的机理以及飞秒激光在金属超加工方面的一些最新应用。基于一维双温扩散模型分析了飞秒激光与金属相互作用的超快机制;介绍了飞秒激光加工光电倍增管电极,修复光刻掩膜,诱导白炽灯丝阵列微孔等一些工业应用。

【Abstract】 The mechanism and some state of the art applications of femtosecond laser induced metal microstructures are introduced. Based on the one-dimensional, two-temperature diffusion model, the ultrafast mechanism of femtosecond laser interaction with metals is analyzed. Some industrial applications including micromachining dynodes of photomultipliers, repairing photomask of lithography, fabricating array micro-holes in incandescent filaments, etc. are introduced.

  • 【文献出处】 激光与光电子学进展 ,Laser & Optronics Progress , 编辑部邮箱 ,2004年06期
  • 【分类号】TG665
  • 【被引频次】16
  • 【下载频次】588
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