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单片集成于SOI上的光电探测器

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【作者】 董金珠； 江美玲； 梁平治；

【机构】 中国科学院上海技术物理研究所； 中国科学院上海技术物理研究所 上海 200083 2002级硕博连读研究生； 上海 200083； 上海 200083；

【摘要】 介绍了SOI基片的制作,和在SOI上集成光电二极管和电路得到光电探测器的几种方法,以及目前在SOI上做出来的各种光电二极管的结构与特性。

【关键词】 SOI； 光电探测器； 光电二极管； 集成；
  • 【分类号】TN753
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