【摘要】 提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法 ,介绍了测量系统各部分的结构 ,给出了测量结果 实验表明 ,对于硅片上的PbTiO3薄膜 ,测试误差小于 7nm更多还原

【Abstract】 A method to obtain film thickness distribution is discussed, which is based on phase tracing principle. Structure of the system is introduced, and result is given. For film coated on silicon floor, deviation is less than7 nm.更多还原