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射频溅射两步法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜

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【作者】 冯贞健； 邢光建； 陈光华； 于春娜； 荣延栋；

【机构】 北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室； 北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室 北京100022； 北京100022； 北京100022；

【关键词】 ~~；
【基金】 ~~
  • 【文献出处】 功能材料与器件学报 ,Journal of Functional Materials and Devices , 编辑部邮箱 ,2004年01期
  • 【分类号】O484.1
  • 【被引频次】5
  • 【下载频次】191
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