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低能离子束方法制备磁性Fe-Si合金薄膜

Magnetic Fe-Si alloy films prepared by low energy ion beam technique

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【Author】 LIU Li-feng~1,CHEN Nuo-fu~(1,2),ZHANG Fu-qiang~1,CHEN Chen-long~1, LI Yan-li~1,YANG Shao-yan~1,LIU Zhi-kai~1 Semiconductors, The Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083,China; 2. National Laboratory of Micro-Gravity, Institute of Mechanics, The Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China)

【机构】中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室；中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室北京100083；北京100083中国科学院力学研究所国家微重力实验室北京100083；北京100083；北京100083；

【摘要】利用质量分离的低能离子束技术,获得了磁性Fe Si合金薄膜。利用俄歇电子能谱法(AES)、X射线衍射法(XRD)以及交变梯度样品磁强计(AGM)测试了样品的组分、结构以及磁特性。测试结果表明在室温下制备的Fe Si合金是Fe组分渐变的非晶薄膜,具有室温铁磁性。当衬底温度为300℃时制备的非晶Fe Si薄膜中有Fe硅化物FeSi相产生,样品的铁磁性被抑制。更多还原

【Abstract】 Magnetic Fe-Si alloy films were prepared by mass-analyzed low energy ion beam technique. The compositional and structural properties of samples have been analyzed by auger electron spectroscopy and X-ray diffraction spectrum. Magnetization measurements have been performed by alternating gradient magnetometer. The measurement results show the Fe-Si alloy was amorphous when the growth temperature was at the room temperature. Samples show room-temperature ferromagnetism . When growth temperature was up to 300℃,iron monosilicide was formed in amorphous Fe-Si alloy. The ferromagnetism of sample was suppressed.更多还原

【关键词】低能离子束；硅；铁磁性；磁性半导体；
【Key words】 low energy ion beam； silicon； ferromagnetism； magnetic semiconductor；

【基金】国家自然科学基金资助项目(60176001);国家重大基础研究计划资助项目(G20000365和G2002CB311905)

【文献出处】功能材料 ,Journal of Functional Materials , 编辑部邮箱 ,2004年04期

【分类号】TN304.7
【被引频次】3
【下载频次】99

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