节点文献

激光直写技术的研究现状及其进展

Research Advances in Technology of Laser Direct Writing

推荐 CAJ下载
PDF下载
不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【Author】 XU Bing, WEI Guo-jun, CHEN Lin-sen(Institute of Information Optical Engineering, Soochow University, Suzhou 215006, China)

【机构】苏州大学信息光学工程研究所；苏州大学信息光学工程研究所江苏苏州 215006；江苏苏州 215006；江苏苏州 215006；

【摘要】介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向。更多还原

【Abstract】 The paper briefly introduces the background of laser direct writing.The performances of the different types of laser direct writing systems are compared.The new schemes of laser direct-writing system are discussed .更多还原

【关键词】激光直写；二元光学元件；光刻；空间光调制器；光变图像；
【Key words】 laser direct writing(LDW)； binary optical element( BOE)； photolithography； spatial light mod ulator(SLM)； optical variable device (OVD)；

【文献出处】光电子技术与信息 ,Optoelectronic Technology & Information , 编辑部邮箱 ,2004年06期

【分类号】TN249
【被引频次】61
【下载频次】1730

知网节下载

节点文献中：

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络

节点文献