读者来信

【摘要】 读了贵刊第2 2卷第1期6 0页“ITO靶材中氧含量EPMA定量分析方法研究”一文,该文发现ITO靶材中氧含量EPMA定量分析结果有误差,指出这点是对的。但第3节引入“密度修正”是不合物理原理的。分析误差应当从其他方面(ZAF修正中公式的误差、X射线峰的定量处理等)去探索。现对密度修正不合理之处简要说明如下。文中提到“在实测过程中,轰击标样和试样的电子束斑尺寸是一致的,也就是说,轰击的表面积相同。电子束轰击样品能达到的深度基本一致,这表明标样和试样所测体积V相同。”实际上对于原子序数相同的样品和标样来说,电子的穿透深度是和样品的密度成反比的。密度大的样品,其穿透深度就小,密度小的样品,其穿透深更多还原