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SOI热光4×4光开关阵列的研制(英文)

Design and Fabrication of Thermo-Optic 4×4 Switching Matrix in Silicon-on-Insulator

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【作者】 王章涛樊中朝夏金松陈少武余金中

【Author】 Wang Zhangtao,Fan Zhongchao,Xia Jinsong,Chen Shaowu and Yu Jinzhong (State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors, The Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China)

【机构】 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室 北京100083北京100083北京100083

【摘要】 设计和制作了由 5个 2× 2多模干涉马赫 -曾德开关元组成的重排无阻塞型 SOI 4× 4热光开关阵列 .阵列的最小和最大附加损耗分别为 6 .6和 10 .4 d B,阵列的串扰为 - 12~ - 19.8d B,光开关阵列的开关速度小于 30μs,单个开关元的功耗大约为 330 m W.

【Abstract】 A rearrangeable nonblocking thermo-optic 4×4 switching matrix,which consists of five 2×2 multimode interference-based Mach-Zehnder interferometer(MMI-MZI) switch elements,is designed and fabricated.The minimum and maximum excess loss for the matrix are 6.6 and 10.4dB,respectively.The crosstalk in the matrix is measured to be between -12 and -19.8dB.The switching speed of the matrix is less than 30μs.The power consumption for the single switch element is about 330mW.

【基金】 国家基础研究重点发展计划 (批准号 :G2 0 0 0 0 3 66) ;国家高技术研究发展计划 (批准号 :2 0 0 2 AA3 12 0 60 );国家自然科学基金 (批准号 :60 3 3 60 10 )资助项目~~
  • 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2004年12期
  • 【分类号】TN252
  • 【被引频次】8
  • 【下载频次】169
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