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在线检测多晶硅薄膜热导率测试结构的设计与模拟
Design and Simulation of On-Line Test Structure for Thermal Conductivity of Polysilicon Thin Films
【摘要】 提出了一种在线测试表面加工多晶硅薄膜热导率的结构 ,推导了热学模型 ,给出了测试方法 ,用 ANSYS验证了热学模型 .该方法避免了测试结构放置在真空中的缺点 ,有望在工艺线上得到应用 .
【Abstract】 An on-line test structure for measuring the thermal conductivity of polysilicon thin films is proposed.The measurement method and thermal modeling are given.The relults are confirmed by ANSYS TM .The method would find applications in the processing line because the vacuum testing circumstances are not required...
【关键词】 热导率；
表面微机械技术；
测试结构；
多晶硅薄膜；
【Key words】 thermal conductivity； surface micromachining technique； test structure； polysilicon thin films；
【Key words】 thermal conductivity； surface micromachining technique； test structure； polysilicon thin films；
- 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2004年04期
- 【分类号】TN304.05
- 【被引频次】6
- 【下载频次】189