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利用CMOS技术实现pH-ISFET传感器集成化的设计

A Integrated pH-ISFET Sensor With CMOS Technology

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【作者】 杨振颜永红齐良颉

【Author】 YANG Zhen1,2,YAN Yong-hong1,QI Liang-jie1(1.Dept. of Applied Physics,Hunan Univ.,Changsha 410082,China;2.Suzhou-CAS IC Design Center,Suzhou 215021,China)

【机构】 湖南大学应用物理系湖南大学应用物理系 长沙410082苏州中科集成电路设计中心江苏苏州215021长沙410082长沙410082

【摘要】 在对离子敏场效应晶体管(ISFET)基本结构及电学特性分析的基础上,提出了一种基于CMOS技术实现ISFET与信号处理电路集成化的设计方法。模拟仿真的结果表明,所采用的ISFET/MOSFET“互补对”结构的信号读取电路形式能够抑制“温漂”和克服“硅衬底体效应”对器件测量灵敏度的影响,是一种适用于ISFET集成设计的信号读取方式。

【Abstract】 Based on the ISFET structure and electronic characteristics, a method integratingthe ISFET and signal process circuit realized in an standard CMOS technology are presented. Thesimulation result shows that complementary ISFET/MOSFET pair can eliminate temperature drift andSi substrate bulk effect, which proves it is a suitable readout circuit for ISFET integration.

  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2004年12期
  • 【分类号】TP212.6
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】219
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