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SPC在半导体晶圆制造厂的应用(下)

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【作者】 梁德丰； 梁静； 钱省三；

【机构】 上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心； 上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心 上海200093； 上海200093； 上海200093；

【摘要】 由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态作有效的监控,所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态,而SPC就是其中最重要的一种技术。本文着重论述了半导体晶圆厂的SPC与传统行业的不同之处。

【关键词】 半导体； SPC； 过程控制； 控制图；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,2004年05期
  • 【分类号】TN305
  • 【被引频次】3
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