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镍钛形状记忆合金薄膜的相变温度和力学性能  
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【英文篇名】 Transformation Temperature and Mechanical Properties of NiTi Shape Memory Alloy Thin Films
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【作者】 柳美荣; 郭锦芳; 米绪军; 朱明;
【英文作者】 Liu Meirong ; Guo Jinfang; Mi Xujun; Zhu Ming (Grikin Advanced Materials Co Ltd; Beijing 100088; China);
【作者单位】 有研亿金新材料股份有限公司; 有研亿金新材料股份有限公司 北京;
【文献出处】 稀有金属 , Chinese Journal of Rare Metals, 编辑部邮箱 2003年 01期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 形状记忆合金; 磁控溅射法; NiTi薄膜; 晶化热处理;
【英文关键词】 shape memory alloy; magnetron sputtering; NiTi film; crystallization treatment;
【摘要】 利用直流磁控溅射法溅射沉积了NiTi形状记忆合金薄膜 ,对NiTi形状记忆合金薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应 ,研究了 5 5 0℃晶化热处理 1h后Ti 48 2 %Ni薄膜的相变温度和力学性能。研究结果表明 ,NiTi薄膜 5 5 0℃晶化热处理 1h后 ,升温过程中发生M→A的相变 ,而降温过程中则先发生A→R相变 ,再发生R→M的相变。薄膜的断裂强度随测试温度的升高而增大 ,残余应变随温度的升高而减小 ,当温度大于Af 点时 ,表现为超弹性
【英文摘要】 NiTi shape memory alloy films were prepared by DC magnetron sputtering NiTi films were treated to get shape memory effect The transformation temperature and mechanical properties of NiTi films were studied It was found that the DSC curve of NiTi films crystallized at 550 ℃ for 1h shows one peak in heating process and two peaks in cooling process With the temperature increasing, fracture stress of NiTi films increases and residual strain decreases
【分类号】 TB383
【正文快照】 近年来 ,形状记忆合金 (ShapeMemoryAlloy ,即SMA)在许多方面均已获得应用。随着微电子机械系统的发展 ,对体积较小且功率较大的微型驱动元件的需求越来越迫切。形状记忆合金薄膜除了具有体材料的优点外 ,还因表面积大、散热能力高 ,从而改善了响应速度 ;因

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