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Zn0.85Co0.15O薄膜的制备及其结构分析

Growth and Microstructures of Zn0.85Co0.15 O Films

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【作者】 李爱侠苏凤莲周圣明刘艳美赵宗彦

【Author】 Li Aixia,Su Fenglian,Zhou Shengming ,Liu Yanmei and Zhao Zongyan ( Department of Physics of Anhui University, Hefei, 230039, China)

【机构】 安徽大学物理系安徽大学物理系 安徽 合肥 230039安徽 合肥 230039安徽 合肥 230039教授安徽 合肥 230039

【摘要】 用电子束蒸镀方法在(100)单晶Si衬底上,生长Zn0.85Co0.15O薄膜,并研究了衬底温度对薄膜质量的影响,结果表明当衬底温度为400℃时,外延膜取向性最好,且其(002)衍射峰半高宽最窄(为0.4834°)。

【Abstract】 Zn0.85Co0.15O Films were grown on Si(100) substrates by reactive electron beam evaporation. Its microstructures were characterized with X-ray diffraction (XRD) .We found that substrate temperature strongly affects the film quality and al a substrate temperature of 400℃highly c-axis oriented grains dominate in the film, with the narrowest(002) X-ray diffraction peak width of (0.4834°).

【基金】 安徽省自然科学基金(No.00047208)
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2003年05期
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】3
  • 【下载频次】43
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