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氮原子离子束源的设计研制与应用

Development and Applications of New Nitrogen Atomic Ion Source

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【Author】 Wang Peiyuan (Shanghai School of Mechanic and Electric Industry,Shanghai,200091,China) Shen Hong,Qin Zongyi,Ying Xuantong,Wang Peinan (State Key Lab for Advanced Photonic Materials and Devices,Department of Optical Science and Engineering,Fudan University,Shanghai,200433)

【机构】上海市机电工业学校；先进光子学材料与器件国家重点实验室复旦大学光科学与工程系；先进光子学材料与器件国家重点实验室复旦大学光科学与工程系上海200091；上海200433；上海200433；

【摘要】本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计 ,对放电参数进行了分析 ,根据离子束流的质谱测量可知 ,氮离子束中N+ 与N+ 2 之比可高达 5∶1,大大优于其他的一些离子束源。对这个离子束源的应用作了简单的介绍更多还原

【Abstract】 A new type of nitrogen ion source has been developed by DC glow discharge.The concentrations of the ion beam were analyzed by mass spectrcscopy and the N + to N + 2 ratio was found to be 5∶1,which is much higher than that obtained with conventional nitrogen ion sources.Possible applications of the new ion source was also briefly discussed.更多还原

【关键词】直流辉光放电；氮离子束；质谱分析；
【Key words】 DC glow discharge； Nitrogen ion beam； Mass spectroscopy analysis；

【基金】国家自然科学基金资助 (No 60 1780 3 1;10 0 75 0 12 )

【文献出处】真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,2003年01期

【分类号】TN304.55
【被引频次】1
【下载频次】55

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