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溶胶—凝胶法制备晶粒择优取向铁电薄膜的研究

R&D OF PREFERRED ORIENTED FERROELECTRIC THIN FILM PREPARED BY SOL - GEL METHOD

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【Author】 WANG Yue-hui , ZHUANG Zhi-qiang , ZU Tao-long (College of Materials Sci & Eng. ,South China University of Technology 510640)

【机构】华南理工大学材料科学与工程学院；华南理工大学材料科学与工程学院广州 510640；广州 510640；广州 510640；

【摘要】本文综述了用溶胶—凝胶法制备择优取向铁电薄膜的工艺方法、特点和机理的最新研究进展;详细分析溶胶—凝胶法制备择优取向铁电薄膜的影响因素,探讨了晶粒择优取向生长的机理。更多还原

【Abstract】 Preparation and characteristics of preferred oriented ferroelectric thin films derived from sol-gel method are described. The processing technology and mechanism of preferred oriented PZT and PT ferroelectric thin films by sol-gel method were discussed.更多还原

【关键词】铁电薄膜；溶胶—凝胶法；择优取向；机理；
【Key words】 ferroelectric thin film； Sol - Gel method； preferred oriented； mechanism；

【文献出处】中国陶瓷 ,China Ceramics , 编辑部邮箱 ,2003年01期

【分类号】TN304
【被引频次】5
【下载频次】238

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