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入射角对激光散斑测量表面粗糙度的影响

Influence of Incidence Angle on the Measurement of Surface Roughness by Laser Speckle

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【作者】 赵学增周莉莉王伟杰吴羡代礼周

【Author】 Zhao Xuezheng(Harbin Institute of Technology,Harbin,China) Zhou Lili Wang weijie Wu xian Dai Lizhou

【机构】 哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨工业大学机电工程学院

【摘要】 观察了当相干激光以不同入射角照射 4个等级的平磨和外圆磨样块时记录的散斑图像中散斑强度的变化。通过分析可知对比度与表面粗糙度之间存在密切的关系 ,入射角又直接影响对比度 ,不同的入射角适合不同的加工方法和测量范围。因此找到合适的入射角可提高实验系统的精度和分辨率

【Abstract】 Incidence angle has some influences on the speckle intensity. According to the observation on the changes of speckle intensity, irradiated by laser from different incident angles to 4 level flat lapped and ground samples, it brings the result that the incidence angle is changed in different measurement range and a reasonable incidence angle may improve the precision and range of measurement.

  • 【文献出处】 中国机械工程 ,China Mechanical Engineering(中国机械工程) , 编辑部邮箱 ,2003年07期
  • 【分类号】TH741
  • 【被引频次】11
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