【摘要】 研究了一种利用碰撞原理 ,进行微驱动的方法。实验表明 ,此种方法更加容易实现高精度位移 ,适用于纳米定位平台等微操作的驱动。更多还原

【Abstract】 Used collision theory to develop a new micro driving method. By experiment, showed that is easy making more precision displacement, is applicable to the driving of positioning tables for nanofabrication and the like micro manipulation.更多还原