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压电谐振式微悬臂梁气体传感器

Piezoelectric Resonance Microcantilever GAS Sensor

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【作者】 周嘉黎坡黄宜平张松周峰杨芃原鲍敏航

【Author】 ZHOU Jia, LI Po, HUANG Yi-ping,ZHANG Song, ZHOU Feng, YANG Peng-yuan, BAO Min-hang(ASIC & System State Key Lab. ,Fudan Unviersity, Shanghai 200433, China;Dept. of Chemistry,Fudan University,Shanghai 200433, China;Dept. of Mechanical Engineering, Jinshan Campus,East-China Universityof Science and Technology, Shanghai 201512, China)

【机构】 复旦大学微电子学系,复旦大学微电子学系,复旦大学微电子学系,复旦大学化学系,复旦大学化学系,复旦大学化学系,复旦大学微电子学系 国家专用集成电路与系统实验室,上海 200433华东理工大学 石油化工学院机械系,上海 201512,国家专用集成电路与系统实验室,上海 200433,国家专用集成电路与系统实验室,上海 200433,上海 200433,上海 200433,上海 200433,国家专用集成电路与系统实验室,上海 200433

【摘要】 介绍了压电谐振式微悬臂梁的设计、制作方法和作为质量传感器的工作原理,及其在空气质量检测上的应用。实验结果验证了设计方法正确,制作工艺可行。在特定敏感层的作用下,该传感器对氟利昂气体在500×10-6范围内的响应呈指数衰减,在100×10-6范围内呈线性响应,灵敏度达-0.002 4%×106,最小可测质量为3.5×10-9g。

【Abstract】 In this paper, design and fabrication of piezoelectric resonance microcantilever are introduced. As a mass sensor, its working principle and application in the field of air quality detection are also presented. The experimental results demonstrate the designing method is valid and the processing is feasible. By the action of a specific sensing layer, its responses to gas Freon decay exponentially within the range of 500×10-6 and approach linearity when the gas concentration is lower than 100×10-6 with sensitivity of -0.002 4%×106 and minimum detectable mass of 3.5×10-9g.

【基金】 国家自然科学基金(30170266)
  • 【文献出处】 压电与声光 ,Piezoelectrics & Acoustooptics , 编辑部邮箱 ,2003年05期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】34
  • 【下载频次】479
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