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低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真

Theoretical Analysis and Simulation on a Low Voltage Actuated Microwave MEMS Switch

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【Author】 XIE Xing-jun1,2,SHAN Hong1,SU Wei1 (1.Institute of Electronic Engineering,CAEP,Mianyang 621900,China; 2.College of Communication Engineering,Chongqing University,Chongqing 400044,China)

【机构】中国工程物理研究院电子工程研究所；中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900重庆大学通信工程学院；重庆400044；四川绵阳621900；四川绵阳621900；

【摘要】通过对独特的MEMS微波开关模型的理论分析,并用ConventorWare和ADS软件对其微机械结构和射频性能进行仿真,得出该开关工作在DC-4GHz时,插入损耗<1dB,在2GHz的隔离度>40dB,激励电压<5V。可知这种独特的MEMS微波开关模型利用扭转臂和杠杆的原理来达到比较低的激励电压,并且获得较高的隔离度。更多还原

【Abstract】 In this paper,An unique model of MEMS microwave switch has been analyzed and simulated using ConventorWare and ADS(Advanced Design System),which utilizes torsion spring and leverage for low voltage and good isolation.The switch operates in frequencies from DC to 4GHz.The insertion is lower than 1dB,The isolation as high as 40 dB at 2GHz,and actuation voltage <5V .更多还原

【关键词】自动控制技术；微机械开关；仿真；激励电压；推拉结构；
【Key words】 autocontrol technique； MEMS swith； simulation； actuation voltage； push-pull configuration；

【文献出处】信息与电子工程 ,Information and Electronic Engineering , 编辑部邮箱 ,2003年04期

【分类号】TM564
【被引频次】3
【下载频次】103

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