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加快发展超纯化学试剂
【摘要】 <正> 近几十年来,随着航天技术以及各个领域高科技的飞速发展,微电子工业也呈现出加速发展的势头。具体表现为集成电路的集成度迅速提高,相对线宽不断减小,多晶硅栅极的宽度由1970年的12μm降低到1982年的2μm,相应的沟道宽度也由10μm降低到约1.3μm。 这些变化导致了半导体三极管的尺寸大大缩小,不断朝微型化方向发展,与此相应的集成线路制造
- 【文献出处】 洗净技术 ,Cleaning Technology , 编辑部邮箱 ,2003年06期
- 【分类号】F426.7
- 【被引频次】3
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