【摘要】 本文综述低温多晶硅(LTPS)TFT技术的最新进展情况。该技术目前的研究前沿是:(1)制作高性能的TFT;(2)在柔性衬底上制作LTPSTFT;(3)驱动有机发光器件的TFT;(4)LTPSTFT的新应用。同时还展望了LTPSTFT技术的未来发展趋势。更多还原

【Abstract】 This paper describes the progress and current status of low tempera ture poly-Si(LTPS)TFT technology.The focus of current research is on:(1)High-performance TFTs;(2)Poly-Si TFTs directly fabricated on plastic films;(3)The integration of active matrix poly-Si TFT technology with OLED displays;(4)New applications of LTPS TFTs.The future trends of LTPS TFT technology are also presented.更多还原