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纳米加工平台X-Y方向运动的数模控制策略

Modeling and Control for Analog Inner Loop and Digital Outer Loop of Nanotechnology-stage in X-Y Direction

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【作者】 刘学鹏郝晓红张宏丁马腾

【Author】 LIU Xue-peng,HAO Xiao-hong, ZHANG Hong-ding,MA Teng (Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049,China)

【机构】 西安交通大学西安交通大学 西安710049西安710049西安710049

【摘要】 介绍了纳米加工平台的工作原理,并对电磁力进行计算分析。根据力学方程建立了纳米加工平台的X Y方向模拟内环模型和数字外环模型,并对数模两环反馈控制进行了研究,提出了无加速度感应器的内环控制和模糊控制外环方法。仿真结果表明,该模型具有较高的动态性能和稳定性。

【Abstract】 The principle of the nanotechnology-stage is introduced and the electromagnetic force which drives the stage is calculated and analyzed.The models of the analog inner loop and the fuzzy outer loop of the stage in X-Y direction are established according to the mechanical equations.The feedback control using the inner loop and outer loop is studied,and the method of the inner loop control with the non-acceleration sensor and the fuzzy outer loop control is proposed. The simulation results show that the models have well dynamic performance and high stability.

【基金】 国家自然科学基金资助项目(50275117)
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,2003年04期
  • 【分类号】TB383
  • 【被引频次】1
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