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脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究

Study on the evolvement of plasma generated by pulsed laser deposition of thin film

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【Author】 Zhang Duan Ming 1)2) Guan Li 1)2) Li Zhi Hua 1)2) Zhong Zhi Cheng 3) Hou Si Pu 1)2) Yang Feng Xia 1)2) Zheng Ke Yu 1)2) 1) (Department of Physics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan\ 430074, China) 2) (State Key Laboratory of Laser Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan\ 430074, China) 3) (Department of Physics, Xiangfang College, Xiangfang\ 441053, China)

【机构】华中科技大学[主校区]物理系；湖北襄樊学院物理系；华中科技大学[主校区]物理系武汉430074华中科技大学激光技术国家重点实验室；武汉430074；武汉430074华中科技大学激光技术国家重点实验室；襄樊441053；武汉430074；

【摘要】利用有限差分法对脉冲激光沉积 (PLD)技术制备KTa0 6 5Nb0 35O3(KTN)薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟 ,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律 ,对等离子体在空间膨胀的物理机制 ,进行了深入的讨论 ,给出了相应演化过程的物理图像 ,并揭示了等离子体羽辉在膨胀过程中呈现椭球外形的内在原因 .更多还原

【Abstract】 By finite difference method, the evolvement of plasma generated by a pulsed laser is studied for pulsed laser deposition of KTa 0 65 Nb 0 35 O 3(KTN) thin film. We have discussed the movement of particles in plasma in isothermal and adiabatic expansion stages in more detail. At the same time, we have simulated the change of figure of plasma at different time. Moreover, the physics mechanism in expansion of the plasma have been explained. The theoretical results are compared with our experiments and other author’s conclusions.更多还原

【关键词】脉冲激光沉积；等离子体；有限差分；速度演化； KTN薄膜；
【Key words】 pulsed laser deposition； plasma； finite difference； evolvement of velocity； KTN thin film；

【基金】华中科技大学激光技术国家重点实验室基金 (批准号 :9713D);湖北省自然科学基金 (批准号 :2 0 0 1ABB0 99);湖北省教育厅重大科技项目基金 (批准号 :2 0 0 0B5 0 0 2 );国家自然科学基金 (批准号 :5 0 2 72 0 2 2 )资助的课题~~

【文献出处】物理学报 ,Acta Physica Sinica , 编辑部邮箱 ,2003年01期

【分类号】O536
【被引频次】24
【下载频次】232

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