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硼注入金刚石的分子动力学模拟

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【机构】上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室；上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海 200030；上海 200030；上海 200030；

【摘要】利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为500eV的硼粒子注入金刚石的微观行为.结果表明:单个500 eV的硼原子注入后金刚石仍保持长程有序结构;表面层原子向内驰豫,邻近表达层的其他各层原子向外驰豫,表面层与近表层原子的间距减少了15％,而第2层原子与第3层原子之间的间距增加了1.5％;硼原子穿透到表面层下0.4nm处,然后再向表面扩散;表面层产生0.4 MPa的压应力.更多还原

【关键词】表面层；硼粒子；硼注入；动力学模拟；长程有序；分子动力学方法；表面扩散；初始动能；压应力；微观行为；

【文献出处】上海交通大学学报 ,Journal of Shanghai Jiaotong University , 编辑部邮箱 ,2003年09期

【分类号】O613.7
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