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一种ESD保护结构的集总参数模拟方法

A Simulation Method for ESD Protection Structure

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【Author】 QIU Guo-liang, LI Rui-wei, ZENG Ying(Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, P. R. China)

【机构】清华大学微电子学研究所；清华大学微电子学研究所北京　100084；北京　100084；北京　100084；

【摘要】文章提出了一种通过集总参数电路对ESD保护结构进行模拟的方法。利用HSPICE电路模拟软件,对ESD保护结构进行了集总参数模拟,获得了保护结构在ESD事件中的功率和温度分布。更多还原

【Abstract】 A simulation method for ESD protection structure is presented in the paper by utilizing lumped-parameter circuit. Both the power and temperature distributions of an ESD protection structure during an ESD event are obtained using HSPICE.更多还原

【关键词】 ESD；保护结构；集总参数；功率分布；温度分布；
【Key words】 ESD； Protection structure； Lumped parameter； Power distribution； Temperature distribution；

【文献出处】微电子学 ,Microelectronics , 编辑部邮箱 ,2003年06期

【分类号】TN407
【被引频次】8
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