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30.4nm光电成像系统分辨率的初步实验研究
Preliminary Experimental Study on the Resolution of the Optical-electro Imaging System at 30.4 nm
【摘要】 本文基于微通道板MCP(Microchannel Plate)探测器件设计一套成像系统,用于对波长为30.4 nm的极紫外EUV(Extreme Ultraviolet)光进行成像.结果获得了一宽度为3 mm的狭缝的像,实验测得490μm的成像系统的空间分辨率,并分析了影响系统分辨率的各种因素及为提高系统分辨率所应采取的措施.
【Abstract】 An imaging system based on MCP (MicroChannel plate) detector is designed to image the extreme ultraviolet (EUV) light at 30.4 nm. The image of a 3 mm-width-slit is obtained by this imaging system. Its spatial resolution of 490 μm is demonstrated. Moreover, all kinds of factors influencing the resolution of the imaging system and the measures to improve the resolution are analyzed in this paper.
【关键词】 极紫外；
激光等离子体；
单色仪；
MCP；
【Key words】 extreme ultraviolet； laser-produced plasma； monochromator； microchannel plate；
【Key words】 extreme ultraviolet； laser-produced plasma； monochromator； microchannel plate；
【基金】 国家自然科学基金(69938020);中国科学院长春光机与物理研究所创新基金(ZJ00Q11B)
- 【文献出处】 量子电子学报 ,Chinese Journal of Quantum Electronics , 编辑部邮箱 ,2003年04期
- 【分类号】TN209
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