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不同气氛条件下类金刚石薄膜的合成

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【机构】甘肃省机械科学研究院；兰州大学物理科学与技术学院；兰州大学物理科学与技术学院甘肃兰州730030；甘肃兰州730030；兰州西脉记忆合金股份有限公司；甘肃兰州730000；甘肃兰州730000；北京航空航天大学理学院；北京100080；

【摘要】采用热处理涂覆在基体上的聚合物的方式得到类金刚石薄膜 ,所能得到的类金刚石薄膜的厚度是有限的。采用再次或多次涂覆的方法可以解决这个问题 ,但是薄膜的质量并不理想。采用惰性气体把溶于四氢呋喃的苯甲酸萘 ,二甲苯萘以及溶于四氢呋喃的聚合物带入反应室 ,作为碳源物质参与类金刚石薄膜的合成。结果表明 ,在热处理过程中通入的碳源物质在不同程度上都有利于类金刚石薄膜中sp2 和sp3 碳的增加 ,薄膜的质量得到提高。更多还原

【关键词】类金刚石薄膜；聚合物热解；碳源物质；

【文献出处】机械研究与应用 ,Mechanical Research and Application , 编辑部邮箱 ,2003年03期

【分类号】TB43
【下载频次】70

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