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微电子机械系统技术应用研究

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【作者】 闫利文；

【机构】 常熟高等专科学校机电系 江苏常熟215500；

【摘要】 微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域,文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术,讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。

【关键词】 MEMS； 微机械加工技术； 关键技术； 发展趋势；
  • 【文献出处】 机械工程师 ,Mechanical Engineer , 编辑部邮箱 ,2003年07期
  • 【分类号】TH703
  • 【被引频次】18
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