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有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的低温制备及特性
【摘要】 采用射频磁控溅射法在有机衬底PPA上低温制备出Zn-Sn-O透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究。制备的薄膜为非晶结构,薄膜与衬底有良好的附着性。性能良好的有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的电阻率为1.3×10-2Ω·cm,载流子浓度为4.4×1019 cm-3,Hall迁移率为12.4 cm2·V-1·s-1。薄膜在可见光范围的平均透过率达到了82％。
【关键词】 有机衬底；
Zo-Sn-O透明导电膜；
射频磁控溅射；
【基金】 国家自然科学基金(批准号:60276044);博士点基金(批准号20020422056)
- 【文献出处】 中国科学G辑:物理学、力学、天文学 ,Science in China(Series G) , 编辑部邮箱 ,2003年05期
- 【分类号】TB43
- 【被引频次】2
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