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激光纳米尺度先进加工技术

Advanced Laser Material Nanoprocessing Techniques

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【Author】 HUANG Yingqi, CHENG Zhaogu, ZHAO Quanzhong,GAO Haijun,SHEN Wei,CHAI Xiongliang(Dept of Phys., Quanzhou Normal College, Fujian 362000; Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, The Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800)

【机构】泉州师范学院物理系；中国科学院上海光学精密机械研究所；中国科学院上海光学精密机械研究所福建 362000；上海 201800；上海 201800；

【摘要】综述了激光-扫描探针显微镜(Laser-SPM )纳米尺度加工先进技术及激光纳米结构先进加工技术。更多还原

【Abstract】 The advanced technology of laser-scanning probe microscope (SPM) nanoprocessing is presented and some other laser nanoprossessing techniques is concerned as well.更多还原

【关键词】激光；纳米技术；扫描探针显微镜；先进加工技术；
【Key words】 laser； nanotechnology； SPM； advanced processing technology；

【文献出处】激光与光电子学进展 ,Laser & Optronics Progress , 编辑部邮箱 ,2003年07期

【分类号】TN249
【被引频次】1
【下载频次】386

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