节点文献

微机电系统(MEMS)的研究进展

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 孙道恒； 王明亮； 郑剑铭； 张玉德；

【机构】 厦门大学机电工程系； 厦门大学机电工程系；

【关键词】 微机电系统； MEMS； 致动器； 模拟信号处理； 微光学； 微流体； 微机器人； 微执行器； 微系统技术； 微米量级；
  • 【文献出处】 机电技术 ,Mechanical & Electrical Technology , 编辑部邮箱 ,2003年S1期
  • 【分类号】TH703
  • 【被引频次】6
  • 【下载频次】424
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)