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微机械(MEMS)技术

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【机构】复旦大学材料科学系；复旦大学材料科学系 200433； 200433；

【摘要】 <正> 微电子机械系统即MEMS(Micro-electromechanical Sys-tems)是纳米电子学的的重要领域是半导体工业中的微细加工技术与机械工业中的做机械加工技术相嫁接即微电子学与微机械学相互融合的产物微机械(Micro machine)就是MEMS的代名词,是迄今最高级的机-电一体化产品。现在,多数人认为更多还原

【关键词】 MEMS；微电子机械系统；微细加工技术；微机械系统；纳米电子学；一体化产品；微机电系统；半导体工业；机械加工技术；微执行器；

【文献出处】集成电路应用 ,Applications of IC , 编辑部邮箱 ,2003年04期

【分类号】TN405
【被引频次】2
【下载频次】59

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