节点文献

SEM与TEM半导体分析的比较

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 胡刚； 陈一； 谢锋； 刘剑霜； 朱烨；

【机构】 复旦大学材料系； 复旦大学材料系 200433； 200433；

【摘要】 本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。

【关键词】 SEM； TEM； 显微分析； 择优腐蚀； 透射电镜； 多层结构； 晶格缺陷； 集成电路芯片； 扫描电镜； 原子尺度；
  • 【文献出处】 集成电路应用 ,Applications of IC , 编辑部邮箱 ,2003年03期
  • 【分类号】TN305
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】351
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)