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红外激光局部加热温度场的有限元模拟

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【作者】 周宏； 赖建军； 邓谦； 易新建； 刘胜；

【机构】 华中科技大学光电子工程系； 华中科技大学力学系； 华中科技大学微系统研究中心；

【关键词】 红外激光； 局部加热； 键合工艺； 光斑半径； 键合技术； 热影响区； 束功率； 直接键合； 高速扫描； 辅助阳极；
  • 【文献出处】 红外技术 ,Infrared Technology , 编辑部邮箱 ,2003年06期
  • 【分类号】TN249
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】208
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