【摘要】 讨论金属有机化合物气相沉积 (MOCVD)方式生长晶体的一种动力学解释 .应用分子动力学、化学反应动力学等推导出MOCVD反应过程中晶体生长速度 -原材料输运速度有关的公式 ,并应用这个公式进行了计算 ,计算结果与实际生长时的参数接近 .更多还原

【Abstract】 The explanation of MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) crystal growth mode is concerned. Applying the molecule dynamics and chemical dynamics to deduce a formula for the flow of sources and the crystal growth, and then using the formula to simulate the crystal growth, the result has been found very close to the real MOCVD growth parameters.更多还原