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10×10InGaAsP/InP阵列波导光栅器件的研制

The Fabrication of 10 ×10 InGaAsP/InP Array Waveguide Grating

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【Author】 Lei Hongbing, Yu Lijuan, Lu Qiaoyin, Guo Weihua, Han Chunlin , Huang Yongzhen (State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083) ( Physics Department, Lanzhou University, Lanzhou)

【机构】中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室；兰州大学物理系；中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京 100083；北京 100083；兰州 730000；北京 100083；

【摘要】研制了脊形波导结构的10×10InGaAsP/InP阵列波导光栅器件(AWG),并采用掺铒光纤放大器(EDFA)作宽带光源测量了AWG的近场图以及分光特性。更多还原

【Abstract】 A 10 × 10 InGaAsP/InP array waveguide grating (AWG) is fabricated by dry etching technique with ridge waveguide structure. The near field pattern and output spectrum of the AWG are measured with an EDFA light source.更多还原

【关键词】 InGaAsP/InP；光波导器件；波分复用；
【Key words】 InGaAsP/InP； Waveguide grating； WDM；

【基金】 973计划(2000036604)资助项目。

【文献出处】高技术通讯 ,High Technology Letters , 编辑部邮箱 ,2003年06期

【分类号】TN256
【下载频次】50

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