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光纤点衍射干涉仪调整方法与条纹分析

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【机构】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所；中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130022；吉林长春130022；吉林长春130022；

【摘要】随着对高精度光学元件的需求不断增加 ,对光学检测精度的要求也随之提高 ,合理可行的检测方法对光学加工的发展至关重要。本文在已建立好的点衍射干涉仪的基础上 ,对仪器的调整进行分析 ,提出合理的调整方案 ,得出被检波面面形的干涉图。该干涉仪由光纤直接提供高精度的参考波面 ,与被检波波面发生干涉。其特点是结构简单合理、易于调整耦合输出、条纹记录迅速、受外界环境影响较低、引入误差较小 ,有利于进一步的拟合分析。更多还原

【关键词】干涉仪；干涉图；光纤端面；光学加工；参考波；光学检测；光学元件；参考光；波像差；光强；

【文献出处】光机电信息 ,Optics,Mechanics & Electronics Information , 编辑部邮箱 ,2003年03期

【分类号】TH744.3
【被引频次】7
【下载频次】267

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