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Finder-1000 X射线能谱仪在半导体陶瓷电容器制程中的应用

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【作者】 李静； 王振平；

【机构】 广东南方宏明电子科技股份有限公司； 广东南方宏明电子科技股份有限公司 广东东莞523077； 广东东莞523077；

【关键词】 陶瓷电容器； 能谱仪； 程中； Finder； 电容器瓷； 亚表面； 烧结工序； 晶粒形貌； 主体材料； 疵病；
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,2003年06期
  • 【分类号】TM53
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