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降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型

An Energy Transfer Photochemical Model for the Abatement of Total Organic Carbon in High Purity Water Used in ULSI Fabrication

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【作者】 闻瑞梅梁骏吾

【Author】 WEN Rui-Mei 1,LIANG Jun-Wu 2 (1.Tongji University,Shanghai 200092,China;2.Institute of Semiconductors,Beijing 100083,China)

【机构】 同济大学中科院半导体所 上海200092北京100083

【摘要】 本文提出用 185nm紫外线降低高纯水中总有机碳 (TOC)的能量传递光化学模型 .计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系 ,从而解决了在工程设计中 185nm紫外灯的选择和计算方法 .根据理论计算出的结果和实验十分一致 ,证实了本模型的正确性 .使高纯水中的TOC由 4 2 0 0 μg/l降至 0 .3μg/l,是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平 .

【Abstract】 An energy transfer photochemical model for the abatement of total organic carbon(TOC)in high purity water using 185nm Ultraviolet(UV)irradiations is proposed.The dependence of 185nm UV irradiation energy on the water flow rates,TOC concentrations and size of irradiation cell has been established.The models of selection of 185nm UV source and calculation in engineering design have been solved.The theoretical calculation agrees with experiments,which proves the model to be correct.The TOC concentrations in high purity water were decreased from 4200μg/L to 0.3μg/L,which is the lowest concentration of TOC.

  • 【文献出处】 电子学报 ,Acta Electronica Sinica , 编辑部邮箱 ,2003年11期
  • 【分类号】TN405
  • 【被引频次】10
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