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影响XeCl准分子激光器寿命的因素

The Factors Affecting the Lifetime of XeCl Excimer Laser

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【Author】 DENG Guangming\ \ WU Xufeng\ \ LIN Yiming(The Department of Electronics, Southeast University, Nanjing 210096, P.R.China)

【机构】东南大学电子工程系；东南大学电子工程系南京； 210096；南京； 210096；

【摘要】准分子激光器的推广应用与其寿命的改善有着很密切的关系。现以XeCl准分子激光器为例讨论了对激光器寿命影响比较大的两大因素 :高速放电开关和激光腔体更多还原

【Abstract】 The improvement of lifetime plays important role in application and popularization of excimer lasers.Examplfying the discharge pumped XeCl excimer lasers, the laser charmber and the fast switch which have strong influence on excimer laser lifetime has been discussed.更多还原

【关键词】准分子激光器；寿命；气体污染；高速放电开关；
【Key words】 excimer laser； lifetime； gas condamination； fast switch；

【文献出处】电子器件 ,Journal of Electron Devices , 编辑部邮箱 ,2003年01期

【分类号】TN248
【被引频次】4
【下载频次】169

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