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氧化铝陶瓷基板过孔的新型激光打孔工艺

New Laser Drilling Technique for Making Via Holes on Alumina Substrates

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【作者】 郭栋李龙土蔡锴桂治轮

【Author】 GUO Dong, LI LONG-tu, CAI Kai, GUI Zhi-lun (Department of Materials Science & Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China)

【机构】 清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 北京100084北京100084北京100084

【摘要】 陶瓷基板激光打孔一固有缺点即孔周围会形成大量不规则堆溅物。提出一种直接在凝胶注模成型陶瓷素坯上激光打孔的新工艺。Nd:YAG激光在氧化铝上打孔的研究表明,该方法能大大减少堆溅物的形成,从而得到分布致密、形状规则的微孔。

【Abstract】 Undesired spatters are often caused by laser-drilling process. A new gelcast green body laser-drilling technique is presented. With the technology, spatters are minimized and the holes on alumina boards drilled by Nd:YAG laser are irregular and fine.

【关键词】 陶瓷基板过孔凝胶注模成型重铸层
【Key words】 ceramic substratesvia holesgelcastingrecast layers
  • 【文献出处】 电子元件与材料 ,Electronic Components $ Materials , 编辑部邮箱 ,2003年03期
  • 【分类号】TN249
  • 【被引频次】9
  • 【下载频次】550
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