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超大规模集成电路生产厂的供配电设计
【摘要】 <正> 1 引言 超大规模集成电路产业是我国重点发展及政策扶持的产业之一,是电子工业的基础性产业和事关国家经济发展水平和综合实力的战略性产业。而超大规模集成电路(以下简称IC)生产工厂特别是芯片(晶圆)厂更是电子工业中投资及技术高度密集的工厂。近年来,随着计算机及通信、信息产业
- 【文献出处】 电工技术杂志 ,Electrotechnical Journal , 编辑部邮箱 ,2003年09期
- 【分类号】TM727
- 【被引频次】3
- 【下载频次】157