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VO2薄膜的研究和应用进展

VO2 Thin Film: Developments in Research and Application

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【作者】 张弛； 刘梅冬； 曾亦可； 刘少波； 黄焱球；

【Author】 ZHANG Chi LIUMeidong ZENG Yike LIU Shaobo HUANG Yanqiu(Dept. of Electronic Science and Technology,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China)

【机构】 华中科技大学电子科学与技术系； 华中科技大学电子科学与技术系 武汉 430074； 武汉 430074； 武汉 430074；

【摘要】 综述了VO2薄膜的制备工艺,着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响,并介绍了它的最新应用情况。

【Abstract】 Several advances in VO2 thin film preparation are discussed, with focus on heat treatment conditions. Some latest applications are reviewed.

【关键词】 VO2薄膜； 制备工艺； 热处理； 非制冷红外焦平面； 光阀； 激光器反射镜；
【Key words】 VO2 thin film； preparation progress； heat treatment； uncooled infrared focal plane arrays； light gate； laser reflector；
【基金】 国家自然科学基金;(重大研究计划)资助项目(90201028)
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】27
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